高性能生

両面処理サイクルタイム5秒（露光時間は除く）を実現

低コスト

1光源2ライン稼働によりランニングコストの低減

高解像度

平行光プロキシミティ露光による高解像度露光を実現

高精度

高精度サーボモーターにより、マスククリアランスの任意設定が可能
CCDカメラによる画像処理で位置精度±5μmを実現

好作業中

独自構造による容易なマスク交換