高解像度

平行光プロキシミティ露光による高解像度露光を実現

高精度

高精度サーボモーターにより、マスククリアランスの任意設定が可能
CCDカメラによる画像処理で位置精度±５μmを実現

高速

高速位置決め機構によりサイクルタイム８秒
（製品供給時間、露光時間は除く）

好作業性

独自構造による容易なマスク交換